無塵室設計介紹?

無塵室 ，也稱潔淨室 ，是指一個具有低汙染水平的環境，這裏所指的汙染來源有灰塵 ，空氣傳播的微生物 ，懸浮顆粒 ，和化學揮發性氣體 。更準確地講 ，一個潔淨室具有一個受控的汙染級別 ，汙染級別可用每立方米的顆粒數 ，或者用大顆粒大小來厘定的 。低級別的潔淨室通常是沒有經過消毒的（如沒有受控的微生物） ，更多的是關心空氣傳播的灰塵 。

無塵室的定義 ：空間範圍內之空氣中的微塵粒子等汙染物排除 ，而得到一個相當潔淨的環境 。亦即 ：這個環境中的微塵粒子相當少 ，稱之為潔淨室 。潔淨室被廣泛地應用在對環境汙染特別敏感的行業 ，例如半導體生產 、生化技術 、生物技術 、精密機械 、製藥行業等 ，其中以半導體業其對室內之溫濕度 、潔淨度要求尤其嚴格 、故其必需控製在某一個需求範圍內 ，才不會對製程產生影響 。作為生產設施 ，潔淨室可以占據廠房很多位置 。

無塵室係統製造符合規格之潔淨空氣 ，連續且穩定供給足夠之潔淨空氣於使用端 ，潔淨室內的製造區 。以下由立淨簡單介紹潔淨室的處理流程 ：外氣經由外氣空調箱初步過濾微塵並控製其溫濕度後 ，經由回風管道間 ，將潔淨室之循環風量與外氣空調箱之補充風量混合，經由冷卻盤管將回風管道間之回風降溫至淨室要求之規格，通過循環風扇或FFU帶動潔淨室的氣流循環帶走微塵及熱量 ，經過超高性能過濾網或過濾後 ，供應至Fab區 。